光伏新能源

光伏太阳能、动力电池生产对超纯水用量极大，因此系统具有产水量大、出水质量高、系统稳定，水质要求≥17MΩ*cm（25℃）

太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测--表面制绒及酸洗--扩散制结--去磷硅玻璃--等离子刻蚀及酸洗--镀减反射膜--丝网印刷--快速烧结等。在去磷硅玻璃工艺用于太阳能电池片生产制造过程中，通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中，POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子，这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。去磷硅玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成，主要动力源有氢氟酸、氮气、压缩空气、纯水，热排风和废水。氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸与二氧化硅反应生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。太阳能电池片清洗用水工艺流程：石英砂过滤器+活性炭过滤器+一级反渗透+二级反渗透+EDI系统+抛光混床系统

多晶硅超纯水工艺流程图

多晶硅、单晶硅清洗用水工艺比较

目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

设备优点

第一种 采用离子交换树脂

其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
第二种 采用反渗透作为预处理再配上离子交换

其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高

但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。
第三种 采用反渗透作预处理
再配上电去离子(EDI)装置

这是目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。

其缺点在于初投资相对以上两种方式稍贵一点。

技术要求

超纯水专用膜

采用膜表面高分子嫁接技术，产水TOC在20PPB以下，更适用电子级超纯水系统。
高TOC脱除率、高抗污染能力、低TOC溶出率，TOC达标冲洗时间短、先进配套电源技术，能耗更低。

电去离子技术

离子交换树脂再生不需要使用昂贵且有危害的化学品，降低了能源和运行费用、设施的大小要求。
采用新型均匀树脂包填充，有效提高脱盐率。

水质标准

1、ASTM-D5127-2007《美国电子学和半导体工业用超纯水标准》

2、欧盟电子级超纯水标准

3、中国电子工业国家标准